GP200 - Když je požadavkem procesu vysoká přesnost

Diferenční hmotnostní snímač průtoku Brooks Instruments GP200 má jedinečný konstrukční design, který překonává stávající omezení dnešních hmotnostních snímačů průtoku založených na tlaku a umožňuje vysoce přesný průtok plynu procesem za různých podmínek. Řada GP200 je první plně tlakově necitlivý regulátor hmotnostního průtoku (P-MFC) navržený speciálně pro pokročilé procesy leptání a nanášení při výrobě polovodičů.

Produktové zprávy

GP200 TLAKOVÉ REGULÁTORY HMOTNÉHO PRŮTOKU

Řada GP200 P-MFC má patentovanou architekturu, která překonává omezení konvenčních P-MFC a poskytuje nejpřesnější dodávku procesního plynu, a to i při nízkých tlakových tocích procesního plynu. Zahrnuje několik jedinečných konstrukčních aspektů, včetně integrovaného snímače diferenčního tlaku kombinovaného s architekturou ventilu po proudu. To umožňuje nejpřesnější průtok procesního plynu v nejširším rozsahu provozních podmínek v průmyslu.

OBLASTI POUŽITÍ:

• Výroba polovodičů
• Leptání
• Chemická depozice z plynné fáze (CVD)
• Aplikace pro řízení toku plynu, které vyžadují vysokou čistotu veškerého kovu v cestě toku.

Proto byste si měli vybrat GP200

Vzhledem k tomu, že řada GP200 podporuje velmi širokou škálu procesních podmínek, lze ji použít jako náhradu a upgrade mnoha tradičních P-MFC a tepelných MFC. Snižuje složitost a náklady systému tím, že eliminuje potřebu komponent, jako jsou regulátory tlaku a převodníky.

Snížená nepřestnost měření pomocí snímače diferenčního tlaku poskytuje vynikající přesnost a opakovatelnost měření průtoku.

Vhodné pro všechny procesní podmínky, tlaky a plyny.

Přesná a opakovatelná dodávka plynu a až 2,5x rychlejší stabilizace průtoku pro zvýšení výkonu.

Výhody:

• Odstraněním požadavku na přizpůsobení a kompenzaci dvou samostatných tlakových senzorů snižuje technologie diferenciálního tlaku GP200 nejistotu měření a zvyšuje přesnost, opakovatelnost a provozní výkon.

• Bezpečnější provoz zařízení při nižších vstupních tlacích je nyní možný s P-MFC díky snímači diferenčního tlaku GP200, který je speciálně optimalizován pro měření nízkých diferenčních tlaků.

• Architektura výstupního ventilu zajišťuje přesnost nezávislou na výstupním tlaku, což umožňuje dodávku průtoku při tlacích až 1200 Torr. Rychlouzavírací ventil řeší neproduktivní čekací doby receptury nebo „efekty ocasu“, které lze pozorovat u konstrukcí ventilů MFC proti proudu, které vyžadují dodatečný čas na odvzdušnění vnitřního objemu plynu.

• Ultra rychlý, vysoce opakovatelný čas stabilizace toku nahoru a dolů umožňuje přísnější řízení procesu v pokročilých procesech vysokocyklového nanášení a leptání.

• 100x lepší vypnutí ventilu.

• S MultiFlow™ lze rozsah průtoku MFC v plném rozsahu zmenšit faktorem 3:1, aniž by to ovlivnilo přesnost, pokles nebo únik podle specifikací, pro optimální flexibilitu procesů.

• Pohodlný uživatelský displej a nezávislý diagnostický/servisní port usnadňují instalaci, monitorování a odstraňování problémů.

Funkce:

• Skutečné měření diferenčního tlaku

• Provoz s nižším vstupním tlakem

• Architektura pro ventily po proudu

• Vlastní přechodná odezva

• Nulový únik přes regulační ventil

• Technologie MultiFlow™ nabízí bezprecedentní flexibilitu – jedno zařízení lze naprogramovat pro tisíce různých konfigurací plynu a průtoku, aniž by došlo k odstranění MFC z plynového potrubí nebo ke snížení přesnosti.

• Místní displej zobrazuje průtok, teplotu, tlak a síťovou adresu.

• DeviceNet™, EtherCAT®, RS-485 L-Protocol a analogová rozhraní.